检测项目（部分）

尺寸精度：衡量光学掩模版上图案的尺寸是否符合设计要求

线宽均匀性：检测光学掩模版上不同线条的宽度是否一致

图案对准精度：评估光学掩模版上各图案的相对位置是否准确

光学透过率：测量掩模版对不同波长光的透过率

表面平整度：检查掩模版表面的平整度，确保没有明显的凹凸

光刻层厚度：检测光刻胶层的厚度是否均匀

缺陷密度：统计光学掩模版上的缺陷数量

边缘锐利度：评估掩模版图案边缘的清晰程度

杂质含量：检测掩模版材料中的杂质含量

图案密度：评估单位面积内的图案数量

反射率：测量掩模版表面对光的反射能力

掩膜厚度：检测掩模版的总厚度

吸收系数：测量掩模版材料对特定波长光的吸收能力

透光均匀性：评估掩模版对光的透过是否均匀

抗腐蚀性能：检测掩模版材料的耐腐蚀性

光学均匀性：评估掩模版材料在光学性能上的一致性

微粒污染：检测掩模版表面的微小颗粒污染情况

折射率：测量掩模版材料的折射能力

机械强度：评估掩模版材料的抗弯曲和抗压能力

热稳定性：检测掩模版在高温条件下的稳定性

检测范围（部分）

光学掩模版、电子掩模版、石英掩模版、铬掩模版、聚酰亚胺掩模版、透明掩模版、不透明掩模版、双层掩模版、薄膜掩模版、反射掩模版、衍射掩模版、光子晶体掩模版、纳米图案掩模版、微型掩模版、激光掩模版、真空掩模版、高分辨率掩模版、低成本掩模版、大面积掩模版、定制掩模版

检测仪器（部分）

光学显微镜、扫描电子显微镜、原子力显微镜、光谱仪、干涉仪、透射电子显微镜、紫外可见分光光度计、激光轮廓仪、三维测量仪、粗糙度仪

关于我们

中析研究所机械性能实验室提供

腐蚀实验，非标试验，性能测试，强度检测，老化寿命，抗风实验，抗震实验，电磁干扰，噪声检测，光污染测试，无损检测，模拟环境试验等等。

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